Vios производит алюминиевые пластинчатые патроны для оборудования для тестирования полупроводников

Проблема

Производитель оборудования для испытаний полупроводников объединился с Vios для производства сверхтонкого вафли из алюминиевого сплава 6061, предназначенного для защиты 8-дюймовых кремниевых вафль во время электрической проверки.Основная инженерная задача заключалась в управлении серьезными структурными деформациями на тонкостенных круглых компонентах во время прецизионной фрезыКроме того, микровакуумные отверстия и концентрические всасывающие канавы требовали точности до микрона, поскольку любой незначительный дефект плоскости поверхности приводил бы к утечке вакуума, смещению вафли,и критическое отклонение сигнала при высокоточных испытаниях пластин.

Решение

Чтобы преодолеть эти строгие требования к производству, инженеры Vios внедрили комплексную стратегию точной обработки:

Контроль деформацииКомбинированная высокоточная 5-осевая фрезерная обработка с использованием высокоточных процессов лапирования.Мы интегрировали сегментированное тепловое отжигание для снятия напряжения на протяжении всего производственного цикла, чтобы эффективно устранить внутреннее напряжение материала и предотвратить тепловое искажение.

Строгое допустимое значение:Сохраняется допустимость ±0,005 мм для всех микровакуумных отверстий поверхности и концентрических всасывающих канавок, достигая шероховатости поверхности Ra ≤ 0,4 мкм.

Строгое обеспечение качества:Проведена полная инспекция на 100% с помощью координатной измерительной машины (CMM) по всем критическим габаритам и проверена плоскость профиля поверхности до окончательной отделки поверхности.

Результаты

Поставка партии:Успешно произведено и поставлено 260 единиц.

Высокий стандарт качества:Достигли впечатляющего показателя прохождения измерений 99,3% по всем поставленным производственным партиям.

Безупречная производительность поля:Зарегистрировано нулевое утечка вакуума или проблемы с перемещением пластинки во время текущего производства заказчика, стабильно совпадающие с автоматизированными испытательными линиями зондов для долгосрочного снабжения оборудованием.